Buharlaştırılmış hidrojen peroksit (VHP) sterilizatörü, normal sıcaklıklarda gaz durumunda daha spor öldürme kapasitesi olan hidrojen peroksitinin avantajını kullanarak, lipid, protein ve DNA dahil olmak üzere hücre bileşenlerine saldırmak için tam sterilizasyon gereksinimlerini karşılamak için serbest -OH üretilen bir tekniktir. Genellikle izolasyon odası, izolatör gibi kapalı alanlarda sterilizasyon için kullanılır.

Buharlaştırılmış hidrojen peroksit sterilizasyonu, normal sıcaklıkta hidrojen peroksitinin sıvı durumdan daha fazla spor öldürme kapasitesine sahip olmasının avantajıdır, sıvı H2O2'yi buharlaştırır ve hızlı bir şekilde serbest hidroksi (HO--) haline getirir, lipid, protein ve DNA dokuları da dahil olmak üzere hücre bileşenlerine saldırmak, yapısını bozmak ve tam sterilizasyon gereksinimlerini karşılamak için kullanılır.
Buharlaştırılmış hidrojen peroksit sterilizatörü, %35 konsantrasyonunda H2O2 çözümünü, yani peroksit suyu buharlaştırıcı yoluyla hidrojen peroksit buharına buharlaştıran ve daha sonra parçacıkları plazma yoluyla HO- gazına dönüştüren ve sterilizasyon için boru yoluyla uzaya taşıyan bir cihazdır.

Plazma buharlaştırılmış hidrogen peroksit sterilizatörünün biyolojik kirlenme süreci dört aşamaya bölünebilir:

1. buharlaştırma aşaması: hidrojen peroksit çözümünü buharlaştırıcıya hidrojen peroksit buharına buharlaştırın ve işleme bekleyen karıştırma kabinine fan aracılığıyla girin;

2. Plazma oluşturma aşaması: buhar durumundaki hidrojen peroksitini plazma oluşturma bölgesine getirmek, buhar hidrojen peroksitini plazma hidrojen peroksitine dönüştürmek ve sterilizasyon bölgesine göndermek;

3. biyolojik kirlilik koruma aşaması: öntanımlı konsantrasyona ulaşana kadar (genellikle biyolojik test kağıdı doğrulama konsantrasyon değerine bağlı olarak) gidrojen peroksit plazmasını sterilizasyon bölümüne girmeye devam edin, öntanımlı konsantrasyonun üstünde 30 ~ 35 dakika tutmak, biyolojik kirlilik tamamlanması (30 dakika sterilizasyon verimliliği 6-log'a ulaşması doğrulandı), hidroksit buharlanmasını ve plazmalarını durdurmak;

4. Kalıntı aşaması: Hava yolu sistemi her yerde kalıntı cihazını değiştirir, buharlaştırılan plazmanın hidrojen peroksitini parçalayıcı yoluyla su ve oksijene dönüştürür ve devamlı olarak havadaki hidrojen peroksit konsantrasyonunu 1 ppm'nin altına indirir.

Her aşamanın çalışması ayrı ayrı manuel olarak veya otomatik olarak kontrol edilebilir ve sıraya göre bir-bir çalıştırılabilir.