Silikan önemli yeni malzeme ürünleridir, LCD düz ekran, yarı iletken, güneş enerjisi ve diğer endüstrilerde yaygın olarak kullanılır, Çin'in yarı iletkenleri ve diğer endüstrilerin gelişimi ile birlikte, silikana olan yerli talep giderek artmaktadır, ancak yerli silikan üretimi teknolojisi başlangıç ​​aşamasında olduğundan, silikanın saflığının nasıl analiz edilmesi çeşitli üreticilerin yüzleşmesi gereken bir konudur.
Yüksek saflık gazının analizinin karmaşık bir süreçtir ve kromatografik analizin zorluklarından biridir. Silan, fiziksel özelliklerinin özelliğinden dolayı, analiz zorluğu zorlaşabilir ve sadece yüksek hassasiyetli bir detektör gerektirmez, aynı zamanda silinanın oksijen yanması sorununu da çözebilir.GC-9560-HG Helyum İyonlaştırılmış Gaz KromatometresiSilikan analizi sürecinde çok sayıda teknik zorluğun üstesinden gelmek, özel silikan örnekleme sistemi ile donatılmış yüksek hassasiyetli bir helyum iyonizasyon detektörü kullanarak silikandaki izlerin ppb sınıfındaki kirliliklerin analizini iyi tamamladı.

Uygulanabilir standartlar:

• GB/T 15909-2009 Elektronik Endüstriyel Gaz Silikanları

GC-9560-HG Silan Analiz Helyum İyonlaştırılmış Gaz KromatometresiYüksek saflık gaz ve elektronik endüstriyel gazlarda kirlilik izlerinin tespit edilmesi için uygundur, zui küçük tespit konsantrasyonu 5ppb'ye kadar olabilir. Aygıtlar, yüksek hassasiyetli bir Helyum İyonlaştırma Detektörü ile donatılmıştır. Huawei'nin merkezi kesme teknolojisini kullanmaktadır. Tüm örnek alma valfleri, süpürücü koruyucu hava yollarıyla donatılmıştır. Tüm makine çoklu sütun kutusu tasarımı ile, farklı kromatografik sütunlar ayrı ayrı sıcaklığı kontrol edebilir, zui ayırma koşullarını en iyi şekilde optimize eder ve farklı kromatografik sütunların ayrı ayrı yaşlanmasını kolaylaştırır, aletin bakımını kolaylaştırır; Cihaz, örnek girme basıncı otomatik düzeltme sistemi ile donatılmıştır ve farklı alt gazların farklı moleküler ağırlıklarından kaynaklanan örnek girme miktarının çok olmamasından kaynaklanan analiz hatalarının üstesinden gelir.

Bir,GC-9560-HG Silan Analiz Helyum İyonlaştırılmış Gaz KromatometresiPerformans Avantajları:
Gaz endüstrisi, ulusal ekonominin temel sektörüdür ve endüstriyel üretimin "kanıdır" ve ulusal ekonominin hızlı gelişimi ile birlikte, yüksek saflık gaz ve elektronik endüstrisi için gaz talebi de hızlı bir şekilde büyüyor. İz kirliliklerinin tespit edilmesi, yüksek saflık gaz ve elektronik endüstrisinde kullanılan gaz üretiminin önemli bir parçasıdır ve iz kirliliklerinin analizi her zaman kromatografik analizin zorluğudur ve geleneksel ısı iletimi gibi kromatografik detektörler yüksek saflık gaz analizine yeterli değildir.
Darbe boşaltılı helyum iyonize detektörü (PDHID), neredeyse tüm inorganik ve organik bileşiklere yüksek tepki veren, özellikle yüksek saflık gazların analizi için uygun ve ng / g (ppb) seviyesine kadar tespit edilebilen son derece duyarlı bir universal detektördür. Yeni geliştirilen ulusal standartlarda, orijinal ısı iletkenleri gibi detektörlerin yerine helyum iyonizasyon detektörü kullanılması, Huaei kromatografisi'nin ana taslak görevini üstlenen ulusal standart "Gaz Analizi Helyum İyonlaştırılmış Gaz Kromatografisi Yasası" da geliştiriliyor ve yakında resmen yayınlanacak.

PDHID silikandaki gaz kirliliklerinin tespit sınırları (ppb)

İki.GC-9560-HGSistem yapılandırması:

(1) GC-9560-HG Helyum İyonlaştırma Gaz Kromatometresi (2) Helyum İyonlaştırma Detektörü (PDHID)

(3) Merkezi kesme sistemi (4) Elektronik gaz örnekleme sistemi

(5) Oksijen adsorbsiyon ve reduksiyon sistemleri (6) Helyum araştırıcıları

(7) Gaz taşıyıcı için özel basınç azaltma valfı (8) ölü hacimsiz özel örnekleme valfı
(9)Gaz taşıyıcı filtreleri (10)Örnek filtreleri

(11) Kromatografik Sütunlar (12) Standart Gazlar
(13) Yüksek saflık helyum (> 99.999% saflık) (14) GC-9560V4.0 sürümü Kontrol kromatografisi çalışması

• Merkezi kesme teknolojisi, tam gaz analizi için:
  GC-9560-HG Helyum İyonlaştırılmış Gaz Kromatometresi, çalışma istasyonunun ayarladığı zaman prosedürü aracılığıyla örnek alma, geçiş, kesme ve geri üfleme işlemlerini otomatik olarak kontrol etmek için birçok süpürücü on kanallı valf ve birçok kök kromatografisinden oluşan çoklu valflı çoklu sütunlu merkezi kesme ve geri üfleme teknolojisini kullanır.

• Süpürücü Tip On Kanal Vana
  GC-9560-HGOrjinal ithal VICI tarafından üretilen koruyucu hava yolu ile temizleme tipi on yol valfleri ile donatılmıştır, valf düzeyi her zaman gaz taşıyıcı atmosferde bulunur, örneklere girme ve değiştirme sırasında havanın örneklere nüfuz etmesini önler, tespit hassasiyeti ve doğruluğunu büyük ölçüde artırır.
• Özel işlenen kromatografik sütun teknolojisi
  (1) Kromatografik sütun borusu 316L paslanmaz çelik malzeme kullanır ve boru iç duvarları, adsorbsiyon ve karbon monoksit sürükleme gibi sorunların oluşturulmasını önlemek için pasivleştirilmiştir.
  (2) kromatografik sütun taşıyıcıları, oksijen adsorbsiyonu ve diğer sorunların oluşturulmasını önlemek için özel bir tedavi altındadır.
  (3) Öncesi kesim sütunu, ayrım, istikrarlı ve hızlı bir şekilde değerlendirmek için örneklerin ayrılmasını kapsamlı bir şekilde iyileştirmek için ülkenin mikro doldurma sütunu teknolojisini elde etmek için Huaei kromatografisini kullanın

• Çok Sütunlu Kutu Ayırma Sistemi
  Gaz örnekleri çeşitli biçimlerde ve aynı zamanda çok çeşitli kirliliklerde bulunur ve gaz örneklerindeki tüm kirliliklerin ayırılmasını tamamlamak için birçok farklı kromatografik sütunun birleştirilmesi gerekir. Farklı kromatografik sütunlar için optimum çalışma sıcaklığı farklı olduğundan, aynı sütun kutusunda farklı kromatografik sütunlar için aynı anda uygun olan optimum çalışma sıcaklığını bulmak zor. GC-9560-HG, farklı kromatografik sütunların farklı çalışma sıcaklıklarına ihtiyaç duyduğu sorunları etkili bir şekilde çözmek için çoklu sütun tasarımı kullanır.
  Cihazın günlük bakımında, 5A moleküler tarama gibi farklı taşıyıcıların kromatografik sütunlarının aktivasyon sıcaklığı farklı olduğundan, aynı sütun kutusunda yaşlanmak için yüksek sıcaklığa dayanılmayan kromatografik sütunları çıkarmak ve ayrı ayrı aktivasyon gerekir. GC-9560-HG'nin çoklu sütun tasarımı yukarıdaki sorunları etkili bir şekilde çözebilir ve farklı kromatografik sütunlar farklı sütunlarda ayrı ayrı etkinleştirilebilir, günlük alet bakımında kromatografik sütunların sökülmesi gereken sorunlardan kaçınır.
• HP-2 Helyum Arıtıcı:
  GC-9560-HGYüksek saflık helium taşıyıcı gaz olarak kullanılır, helium saflığı tüm aletin kirliliklere karşı tespit duyarlılığını doğrudan etkiler. Testler, yüksek saflık gaz analizi için kullanılan taşıyıcı gazın saflığının, gaz örneğinin temel saflığından en az bir miktar derecesi daha yüksek olduğunu kanıtladı.
  HP-2 Tipi Helyum Arıtıcı, VICI tarafından üretilen özel bir gaz arıtıcısıdır. Arıtıcı matrisi uçuşsız bir adsorbtif alaşımdır. Adsorben parçacıklarının yüzeyinde ısıtma yoluyla aktifleştirilmesi gereken bir oksit membranı vardır. Aktivasyon süreci vakum veya inert gaz ortamında tamamlanmalıdır. Böylece, heliyum özgürce yayılmasına izin verir, oksijen arıtıcı tabakalarının oluşumunu önler ve kirlilik gazlarının adsorbsiyonu gerçekleştirir. HP'nin adsorban malzemeleri, iki sıcaklık kontrol aralığını içeren iyi bir ısı istikrarına sahiptir.
  Temizlenebilir Gazlar: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Yüksek çalışma basıncı: 1000psi
  Gaz çıkarılması: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Bekle.
  Kalıntı Konsantrasyonu: ≤10ppb
• Örnek basınç düzeltme sistemi
  Geleneksel kromatometr, örnek alma valfının çıkışındaki akışı kontrol etmek için bir yöntem kullanır, bu yöntemin büyük bir analiz hatası olduğunu kanıtladı.
  Örneğin, yüksek saflık hidrojen analizi yapalım: standart gaz, heliumda yapılandırılan altı kirliliktir, örnek gazı ise hidrogendeki altı kirliliktir; Helyum ve hidrojen moleküler ağırlıkları farklı olduğundan, aynı akış altında örnek alma miktarı * olmayan bir duruma neden olur.
  GC-9560-HGBasınç düzeltme sistemi ile donatılmış, alt gaz farklılığından kaynaklanan örnekleme miktarı olmayan sorunları aşmak ve verilerin doğruluğunu sağlamak.
• Ölü hacimsiz örnekleme valfı
  GC-9560-HG, ölümsüz hacimli özel örnekleme valfı ile donatılmıştır, örnekleme yöntemini kullanarak, hava kalıntıları sorununu etkili bir şekilde önler ve örnekleme sürecinin analiz üzerindeki etkisini düşük bir seviyeye indirir.
• Gaz taşıyıcı için basınç azaltma valfleri
  Normal basınç azaltma valfı, büyük miktarda ölü hacmin varlığından dolayı, basınç azaltma valfının çıkışından sonra taşıyıcı gazın saflığını doğrudan etkiler, taşıyıcı gazdaki taban kirliliklerinin yüksek konsantrasyonuna neden olur ve böylece tüm sistemin tespit sınırını etkiler.
  GC-9560-HG Helyum iyonize gaz kromatometresi, iki seviyeli basınç düzenleme fonksiyonuna sahip tam paslanmaz çelik taşıyıcı gaz basınç azaltma valfı ile donatılmıştır, basınç istikrarını büyük ölçüde artırır, temel çizginin istikrarını sağlar, aynı zamanda valf vücudundaki ölü hacmi azaltır ve tespit duyarlılığını daha da artırır.

GC-9560-HGAnaliz etkisi: