Üç iyon ışın teknolojisi

Üç iyon ışını parçaları örneğin yan yüzeyine dikey, bu nedenle örneğin (örnek tabağına sabitlenmiş) iyon ışını bombalaması sırasında, projeksiyon / engelleme etkisini azaltmak için sallanma hareketine ihtiyaç duymaz, bu da etkili ısı iletimini sağlar ve örneğin işleme sırasında ısı deformasyonuna maruz kalmasını azaltır.
Teknoloji
Üç iyon ışını, 100 ° bombalama fanı oluşturur ve bombalama, örneğin iç hedef alanına ulaşana kadar, örneğin üstünde maruz olan örneği (örneğin üst ucu yaklaşık 20-100 μm) kesir. Yeni tasarlanmış iyon tüfeği 300 μm/h (Si10 kV, 3.0 mA, 50 μm kesme yüksekliği) iyon ışını öğütme hızlarına ulaşabilir. Leica'nın benzersiz üç iyon ışını sistemi, mükemmel ve yüksek kaliteli kesim kesimleri ve yüksek hızlı, geniş ve derin kesim yüzeyi ile çalışma zamanından büyük tasarruf sağlar. Bu benzersiz teknoloji ile bölge boyutları > 4 x 1 mm'ye kadar yüksek kaliteli kesim kesimleri elde edilir.

Leica EM TIC 3X - Tasarım ve kullanım açısından yenilikçi özellikler

Yüksek akım, daha fazla maliyet kazançı
›› Yüksek kaliteli kesim kesimleri > 4 x 1 mm'ye kadar
››Birden fazla örnek masası tasarımı, aynı anda üç örnek için çalışır
Yüksek iyon öğütme hızı, Si malzemesi 300 μm / h, 50 μm kesme yüksekliği, laboratuvar yüksek akım gereksinimlerini karşılayabilir
›› En büyük örnek boyutu 50 x 50 x 10mm
›› Kullanılabilir örnek taşıyıcı çeşitliliği Kolay kullanım, yüksek hassasiyet
›› Örneklerin taşıma tabanına monte edilmesi ve kapıya karşı konumların ayarlanması kolayca ve doğru
›› Dokunmatik ekran ile kolay kullanım, özel çalışma becerileri gerektirmez
›› Örnek işleme süreci gerçek zamanlı olarak izlenebilir ve televizyon aynası veya HD-TV kamerası ile izlenebilir
› LED aydınlatma, örneklerin gözlemlenmesi ve konum kalibrasyonu kolaylaştırır
›› Titreşimsiz bir gözlem alanı sağlayan yerleşik, birbirinden ayırılmış tasarlanmış vakum pompa sistemi
>> Hazırlanmış düz kesim kesimlerinde kaplama güçlendirme etkisi, yani iyon ışını kazma işlemi yapılabilir.
› USB üzerinden parametreleri ve programları yüklemek veya indirmek
>> Hemen hemen her malzeme örneği için uygundur
›› Dondurulmuş örnekler masası ile kaplama ve örnekler sıcaklığını –150°C'ye düşürebilir

Çeşitli örnek taşıyıcıları

Neredeyse çeşitli boyutlardaki örnekler için uygundur ve geniş bir kullanım alanına uygundur. Bir örnek taşıyıcısı kullanıldığında, önceki mekanik hazırlama (Leica EM TXP), iyon ışını kesme (Leica EM TIC 3X) ve daha sonra örnek depolama kutusuna takip edilmesi için SEM aynası yapılabilir.

Kaplama Artırımı

İyon ışını kesmeden sonra, örneği çıkarmak gerekmez, aynı örnek taşıyıcısı ile örneğin kaplamasını da güçlendirebilir, örneğin içindeki farklı fazlardan önce topoloji yapısını güçlendirebilir (kristal sınırlar gibi)

Yüksek Hassasiyet

Şimdi, örneklerdeki giderek daha küçük ayrıntılı yapılar yavaş yavaş dikkat çekiyor. Ve çok küçük TSVia delik yapısı elde etmek gibi kesimleri kesip elde etmek kolay hale geldi. Tüm örnek masaları ±2 μm'lik bir örnek konumu kalibrasyon hassasiyeti için tasarlanmıştır. Sadece örnek masasının kontrol hassasiyeti bu kadar hassas hedef konumlandırma kalibrasyonunu sağlamakla kalmaz, gözlem sistemi, doğru hedef konumlandırma için en az yaklaşık 3 μm boyutundaki örnek ayrıntılarını da gözlemleyebilir. Örneklerin konumlandırıldığında daha iyi gözlemlenmesine yardımcı olmak için, 4 bölünmüş LED halka ışık kaynağı veya LED koaksiyel aydınlatma, kullanıcıların teleskop aynalarından veya HD-TV kameralarından net görüntüler almalarına yardımcı olur.
Vakum pompası aletin içine yerleştirildiğinden, tek başına bir yer boşaltmaya gerek yoktur. Vakum pompasının ayrılma tasarımı sayesinde, örnek hazırlama esnasında gözlem alanı vakum pompası tarafından üretilen titreşimden rahatsız edilmez.