Ürün tanıtımı

Normal sıcaklık katalitik gaz arıtma sistemi

En düşük maliyetli ve yüksek kaliteli gaz arıtma çözümleri sunan toplu gaz arıtması için tasarlanmıştır. Kompakt yapı, düşük maliyetli çalışma ve yüksek güvenilirlik avantajlarına sahip, çeşitli kirlilikler içeren kütleli gazları ultra saflık gaz gereksinimlerine ulaşmak için etkili bir şekilde saflaştırır ve minimum basınç düşüşü ve mükemmel sürekli çalışma kapasitesine sahiptir. Tüm sistem, çeşitli boyutlarda gerekli alanlarda ve çeşitli alanlarda uygulanabilir ve geniş bir şekilde kullanılabilir.

Ürün Performansı

◎% 99.99'dan az saflık içeren hamgaz ile çalışmak için uygundur

◎ Bu ürün çift yapı, bir grup çalışma, diğer bir grup yenilenme yedek

◎ Gaz saflaştırıldıktan sonra su, oksijen ve diğer çeşitli kirlilikler içeriği <10ppb

◎ Elektrokimyasal parlatma 316 (L) paslanmaz çelik ◎ yerleşik yüksek verimli filtre

◎ En iyi işleme döngüsü tasarımı, adsorban doldurma miktarı büyük, hizmet ömrü uzatılmış

◎ Bu ürün genel sürücü tasarımı, kompakt düzen, küçük alanı kaplar

Ürün Uygulamaları

◎ Koruma gazı temizleme: çelik, petrokimya, makine endüstrisi

◎ Yüksek saflık monokristal silikon, çip uzatma, kitlesel entegre devre, fotoelektrik ürünleri üretimi ve diğer elektronik endüstrileri için gerekli olan gaz birincil arıtması.

Yarı iletken işlem ekipmanları: CVD, MOCVD, HVPE, difüzyon fırını vb.

◎ Toplu gaz temizleme

Sistem parametreleri