Düşük Sıcaklık Katalisi - Yüksek Sıcaklık Azot Eliminasyon Tipi Arıtma Sistemi

Bu arıtma sistemi, ev yapımı patentli bir katalizör kullanır, bu katalizör uzun ömürlüdür, yüksek arıtma derinliği ve güçlü antihammadde gazının anında dalgalanma kapasitesi; Fiziksel adsorpsiyon ve kimyasal reaksiyon işlemleri kullanılarak, önce oda sıcaklığında inert gaz ve hidrojen (H2) kirliliklerinden büyük miktarda H2O, O2, CO, CO2 çıkarılır, daha sonra yüksek sıcaklıkta gaz emiş kulesi ile kalan kirlilikleri ve N2 çıkarılır, ihracat saf gazın kirliliklerini 1 ppb'nin altına bölünür. Bu cihazın uzun kullanım ömrü ve basit kullanım gibi özelliklerine sahiptir.

Ürün Performansı

*% 99.999'dan az saflık içeren hamgaz ile çalışmak için uygundur.

◎ Bu ürün çift yapı, bir grup çalışma, diğer bir grup yenilenme yedek

◎ Yüksek temizleme derinliği, ihracat çeşitli kirlilikler içeriği <1ppb

◎ Elektrokimyasal parlatma 316 (L) paslanmaz çelik

0.003 mikron yüksek verimli filtre

◎ Bu temizleyici, değerli tüketim tipi nefes emici kulesinden önce çok miktarda kirliliği çıkarmak için ön temizleme kulesi ile yapılandırılmıştır, böylece değerli tüketim tipi nefes emici kullanım ömrünü uzatabilir

Ürün Uygulamaları

◎ Yüksek saflık monokristal silikon, çip uzatma, kitlesel entegre devre, fotoelektrik ürünleri üretimi ve diğer elektronik endüstriyel gaz terminalları arıtması

Yarı iletken işlem ekipmanları: CVD, MOCVD, HVPE, difüzyon fırını vb.

◎ Toplu gaz temizleme

Sistem parametreleri