İndüktif bağlantılı plazma kütle spektroskopisi (ICP-MS), periyodik tablodaki hemen hemen tüm elementleri aynı anda hızlı bir şekilde tespit edebilen yeni bir inorganik element ve izotop analizi teknolojisidir. ICP-MS teknolojisi, analitik yeteneğinde, indüksif bağlantılı plazma spektrumu teknolojisi (ICPAES), grafit fırın atom emimi (GFAAS) ve cıva soğuk atom emimi teknolojisi (CVAAS) gibi geleneksel anorganik analitik teknolojilerin toplamını aşıyor ve çağdaş analitik teknolojilerin en heyecan verici gelişimi olarak bilinir.

Agilent ICP-MS teknolojisinin uygulama alanları şunlardır:
Çevre örnekleri analizi, musluk suyu, yüzey suyu, yeraltı suyu, deniz suyu ve çeşitli toprak, atık vb. analizi dahil olmak üzere;
• Yarı iletken malzeme analizi
Cam, seramik ve madencilik gibi örnek analizi;
• Jeoloji Araştırmaları;
• Biyolojik gıda ve tıbbi klinik araştırmalar;
• Nükleer malzeme analizi
• Petrokimya örnekleri analizi;
• Adli tıp uygulamaları ve araştırmaları;
Son zamanlarda, çevresel toksiklik, yaşam bilimleri ve diğer alanlarda ayrılma teknolojisi ile birlikte element fiyatı ve morfoloji analizi, ICP-MS teknolojisinin uygulamasının odak noktası haline geldi.
ICP-MS Analiz Özellikleri:
Periyodik tablodaki hemen hemen tüm unsurları aynı anda hızlı bir şekilde tespit eder
• En düşük tespit sınırı (ppq seviyesine kadar düşük)
• En iyi maliyet/fayda oranı analizi
En geniş doğrusal dinamik aralık - ppq'den yüzlerce ppm'ye kadar doğrudan tespit edilebilir
● En basit spektrum hattı, en az müdahale, doğruluk ve hassasiyet
● Çok düşük örnek miktarı gerektirir (ul ila ml), hızlı analiz hızı (1 ~ 3 dakika / örnek)
• Çok çeşitli tespit modelleri
Yarı iletken endüstrisinde yaygın kullanılan malzemelerde ultra izleri kirletici analizi:
Katı: Si; GaAa tek kristal dilim; Kuvars, silikon karbür gibi fırın malzemeleri; Yüksek saflık metal elektrotları
Sıvı: Süper saf su; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Amonyak vb.
Gaz: SiH4; TE0S; NF3; N2 gibi
Agilent ICP-MS, organik örnekleri doğrudan analiz edebilir:
Agilent ICP-MS'in yüksek performanslı, yüksek güçlü koruma diksoğuk plazma teknolojisi, bir dizi organik örnekte ppt seviyesindeki iz kirlilik elementlerini ölçmek için kullanılmıştır.
● Bu örneklerin bazıları için diğer yöntemler tatmin edici sonuçlar elde edemez ve yüksek güçlü koruma diksoğuk plazma teknolojisi tek analiz yöntemidir.
● Güçlü alkali temizleyici - Tetrametilhidroksit amonyak (TMAH) vb.
● Yaygın kullanılan organik çözücüler - torfenil, ditafenil, IPA vb.
● Yüksek matris örnekleri - fotogravür, sıvı kristal, BPSG, PSG ve diğer çok uçucu temizleyiciler - aseton, metanol vb.