Aktif titreme yalıtım platformu genel bakış
STACIS ® III esnek bir aktif titreme yalıtım sistemidir. STACIS aktif titreşim yalıtım platformu sistemi, gelişmiş iners titreşim sensörleri, gelişmiş kontrol algoritmaları ve piezoelektrik aktörleri kullanarak yeryüzü hareketlerini sürekli olarak ölçerek, ardından gerçek zamanlı titreşimi ortadan kaldırmak için piezoelektrik aktörleri genişletmek ve küçültmek için filtreler.
STACIS**, gelişmiş yarı iletken tesislerinde hassas mikrografi, ölçüm ve test cihazlarını izole etmek için tasarlanmıştır ve şimdi gürültülü ortamlarda (yarı iletken tesisleri, arıza analizi laboratuvarları, nanoteknoloji araştırmaları, nanoüretim tesisleri ve malzeme araştırma merkezleri dahil olmak üzere ancak bunlarla sınırlı değildir) hassas aletler için endüstri standart bir çözüm haline geldi.
STACIS III aktif titreme yalıtım platformu sistemi, tamamen yeni ve geliştirilmiş bir dijital denetleyici DC-2020 içerir. Bu yeni** kontrol sistemi, ön ve arka panellerinde yeni çift çekirdek işlemci, Ethernet ve USB seri bağlantı noktası ile kullanıcılara modern ve kullanımı kolay bir grafik kullanıcı arayüzü (GUI) sağlar. Dünya çapında yüzlerce başarılı kurulum örneğine sahip olan STACIS, titreşime duyarlı aletler için ideal bir izolasyon sistemidir.

Aktif titreme yalıtım platformu sistemi STACIS III'in avantajları
STACIS, hava izolatörlerinden yüzlerce kat daha sert ve herhangi bir hava izolasyon sistemi sınırlaması yoktur. “Yumuşak” bir askıya sahip değildir ve aktif hava sistemlerinden farklı olarak, STACIS, her iki sistemin de ** durumunda çalışmasını sağlayan iç aktif hava yalıtım sistemine sahip bir aletin altına yerleştirilebilir.
Benzersiz seri tasarım ve özel yüksek güçlü piezoelektrik teknolojisi, geniş aktif bant genişliği 0,6 Hz***150 Hz ve 2 Hz'den başlayarak titremeyi yüzde 90 azaltan aktif titreme yalıtım performansını sağlar.
Aktif Titreme Yalıtım Platformu Sistemi STACIS III Özellikleri
▪ ** Kullanımı kolay grafik kullanıcı arayüzü sağlayan yeni geliştirilmiş DC-2020 dijital denetleyici
▪ Titreme yalıtımı 0,6 Hz'de başlar ve 1 Hz'de% 40 ***% 70 yalıtım oranına ulaşır
▪ 2 Hz ve daha yüksek frekanslarda dikey ve yatay yalıtım oranı %90'dan fazla
▪ Altyapı gereksinimlerini ve inşaat maliyetlerini azaltmak ve daha büyük dış titreme ekipmanları bile düzgün çalışmak
▪ Etkili yalıtım aralığı, 0.6Hz ila 150Hz
▪ Çok sayıda kullanıcı tarafından geniş tanınma ve onaylama
▪ 6 yönlü serbestlik derecesi sert montaj tasarımı, hava süspansiyonu gerektirmez
▪ Güçlü bir kontrol sistemi düzenli olarak yeniden kalibre edilmeyecek
▪ Kullanım noktası tasarımı, müşterilerin mevcut titreme yalıtım sistemleriyle sorunsuz uyumlu
▪ Dış ortam değiştiğinde, sistem farklı dış titreşim durumlarına uygun olarak otomatik olarak ayarlanır
▪ TMC'nin Stacis ® Teknoloji Piyoelektrik aktüatörü aktif çarpma kullanarak
▪ Dijital denetleyici ve PC tabanlı grafik kullanıcı arayüzü (GUI)
▪ Müşteri ürünlerinin üretimi, kalitesi ve bitmiş ürün oranını artırmak.
▪ RoHS standartlarına uygun
▪ ** Geniş aktif izolasyon bant genişliği, ** düşük frekans izolasyon etkisi
▪ Aktif Yahrtz titreşim ortadan kaldırılması ** Esasen 0.6-6Hz frekans bantında titreşim yalıtımı
▪ Yüklenebilir Tasarım
▪ Yumuşak süspansiyon yerine aktif sabit montaj yapısı, düşük frekans sürüşümü yoktur, aktif bileşenler sert yaylara bağlanır
▪ Pasif yaylar, STACIS sensöründen gelen yük rezonansını filtreler ve çok az ayarlama gerektirir ve ayarlama gerektirmez.
▪ Impedans eşsizliği nedeniyle alet içi izolatörü ile uyumlu
▪ 2000 kg'a kadar yük
▪ Piyasada ** aktif titreme yalıtım sistemi
Aktif titreme yalıtım platformu performansı

VC-C (500 μin/s, 12.5 μm/s RMS) ile 4.500 lb (2045 kg) kullanım yükünü test etmek için analog titreşim
Aktif titreme yalıtım platformu özellikleri
Performans Özellikleri
Aktif özgürlük derecesi | 6 |
Aktif bant genişliği | 0.6 Hz - 150 Hz |
Pasif doğal frekans | 18 Hz Dikey ve Yatay |
Etkili aktif rezonans frekansı | 0.5 Hz |
1 Hz'de titreme yalıtımı | 40% - 70% |
≥2 Hz'de | ≥90% |
10 lb (4,5 kg) adımlı girişten sonra istikrarlı süre (10:1 azaltma) | 0.3 saniye |
İç gürültü | <0.1 nm RMSd> |
Her bir izolatörün çalışma yükü aralığı | Düşük ağırlık: 400 - 1100 lb (181 - 499 kg) |
Orta ağırlık: 900 - 2100 lb (408 - 953 kg) | |
Yüksek ağırlık: 1900 - 4500 lb (862 - 2041 kg) | |
Sertlik (1000 lb / 454 kg kütle, orta yüklülük izolatörü) | 40.000 lb / inç (73 x 105 NW / m) |
4 inç (102 mm) mesafe izolatöründen yayılan manyetik alan** | <0.02 μG broadband RMSd> |
Izolatör tasarımı, boyutu, çevre ve kullanım gereksinimleri
Çevre ve Güvenlik | CE ve RoHS standartlarına uygun |
Aktif titreme yalıtımı | 3.300 lb (1.500 kg) küçük bir ağırlık kapasitesi olan piezoelektrik aktörler, 800 VDC'ye kadar çıkış yapan yüksek voltajlı amplifikatörlerden sinyal alır. Dikey aktüatör, titreme yalıtımı yükünü destekler |
Pasif titreme yalıtım bileşenleri | Tek sert heterogensel elastomer (sıkıştırılmış hava kaynağı gerekmez) |
Titreşim sensörü bileşenleri | İzolatörün altındaki yer titreşimini ölçmek ve titreşim hareketi hızına doğru orantılı voltaj sağlamak için aşağıya doğru deprem algılayıcı tipi iners sensörü |
Aktif Geri Bildirim Kontrol Döngüsü | Titreşim yalıtımı yüzeylerini destekleyen yayların altında yer titreşimlerinin ölçülmesi, işlenmesi ve azaltılması |
Izolatör Boyutu (Genişlik x Derinlik x Yükseklik) | 11,75 x 12,5 x 10,8 inç 300 x 320 x 275 mm |
Izolatör Ağırlığı | 75 lb (34 kg) |
Çalışma sıcaklığı | 50° - 90°F 10° - 32°C |
Depolama Sıcaklığı | -40° - 130°F -40° - 55°C |
Nem | 30 - 60% |
Sistem güç gereksinimleri | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE standartlarına uygun |
Yer taşıması | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
Sistem başına izolatör sayısı | ** 3 daha az |
İsteğe bağlı eklentiler | Laminatlı paslanmaz çelik platformlar, çerçeveler, tüpler, düzeltme cihazları, seismik cihazlar, kaldırma kapakları |
DC-2020 Kontrolörü Özellikleri
Boyut (Genişlik x Derinlik x Yükseklik) | 19 x 8,5 x 1,75 inç 483 x 216 x 45 mm |
Ağırlık | 6.3 lb (2.9 kg) |
İşlemci | 150/75 MHz Çift Çekirdekli |
Örnekleme oranı | 10 kHz |
Analog çıkış | 16 kanalı |
Analog Giriş | 16 kanalı |
Durum Işıkları | Tek LED |
Ön panel bağlantı noktası | 1 Seri USB 2.0 1 Seri Micro-USB Bir Ethernet RJ-45 İki BNC |
Arka panel bağlantı noktası | 1 Seri USB 2.0 Bir Ethernet RJ-45 Geleneksel STACIS 2100 titreme izolatörü için 1 RS-232 DB-9 geleneksel seri |
Kullanıcı Arayüzü | Ön LCD ekran Süper Terminalde Karakter Menüsü Microsoft Windows için genişletilmiş GUI Gömülü Ethernet GUI |
STACIS Kullanıcıları ve Uygulamaları
1. Mikroelektronik, yarı iletkenler
▪ Çip Tespiti
▪ Mikrografi Teknolojisi
▪ Maske Kalibrasyonu
2. Bilimsel Araştırma, Nanoteknoloji
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. Lazer Masası
▪ Yaşam Bilimleri, İlaç Geliştirme
4. Endüstriyel uygulamalar
▪ Hassas işleme
Neden aktif titreme yalıtım sistemi seçmelisiniz?
▪ <1Hz'den başlayarak yer titreşimini yoğun bir şekilde ortadan kaldırır ve pnevmatik platformlar bu düşük frekanslarda etkili bir titreşim yalıtımı yapamaz.
▪ Kalite ve üretim artırılması
▪ Daha küçük özellikler için görüntüleme yeteneği
▪ Sınır Araştırmaları
▪ Pneumatik platformlardan daha istikrarlı
▪ SEM Standart Yer Kurulum Parametrelerini Uygulayan ** Çözümler
▪ Yeni laboratuvar ve araştırma ekipmanları için daha düşük mühendislik maliyetleri
Aktif titreme yalıtım sistemi neden STACIS'i seçti?
▪ Bilim araştırmacılarının sesini çekiyor ve mümkün olduğunca titremez bir ortam sağlamaktadır.
▪ Piyasadaki güçlü düşük frekans titreme yalıtım sistemi.
▪ Şu anda tüm SEM üreticileri, gerekli titreşim parametrelerinin karşılanması için aktif titreşim yalıtım sistemine ihtiyaç duyduğu kurulum parametreleri gereksinimlerini açıkladı.
▪ STACIS**, 1990'larda icat edilmiş ve TMC tarafından binlerce aktif titreme yalıtım sistemi geliştirilmiş, geliştirilmiş ve kurulmuştur.
STACIS, pnevmatik izolatörlerden yüzlerce kat daha sert
Kararlılık süresi, rahatsızlığa tepki olarak, benzersiz bir seri tasarımı nedeniyle önemli ölçüde kısaltılmaktadır ve makine yapımı, dinamik yükler, lazer veya ışık kaynaklarının monte edilmesi gereken bağımsız katı masalar için ideal.
Aşağıdaki avantajlar endüstride **
▪ STACIS'in aktif yalıtım bant genişliği 0.6Hz -150Hz
▪ 6 özgürlük derecesi aktif titreşim ortadan kaldırılması, 1 Hz aralığında 8-10dB titreşim
▪ 2-3Hz'den 90% (20dB) kadar titreme yalıtımı
Profesyonel çevre araştırması
1. titreşim, manyetik alan, ses dalgaları dahil olmak üzere kurulum öncesi ve sonrası çevre araştırması
2. Kurulumdan sonra çevre sistemi sertifikası sağlanabilir
▪ Mükemmel çevre araştırma hizmetleri
▪ Profesyonel Çevre Raporları
▪ Titreşim, manyetik alan, ses dalgası tespiti ve çözümler
▪ TMC, geniş deneyimine dayanarak kullanıcılara uygunluk çözümleri öneriyor
▪ 40 yıldan fazla endüstri deneyimi **
Fotoğraf Uygulama





